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愛德華干式真空泵介紹1

愛德華干式真空泵介紹(應(yīng)用于新能源行業(yè)晶體太陽(yáng)能電池制造行業(yè))
IH 干泵
晶體太陽(yáng)能電池制造中苛刻工藝應(yīng)用（例如LPCVD，PECVD）的**選擇具有優(yōu)異的粉塵處理能力，冷凝物更少功耗更低，占用空間更小，零維護(hù) 抽氣能力范圍：51-589立方英尺/分鐘（86-1800立方米/小時(shí)）

GV干泵（常見型號(hào)：愛德華GV250、GV160、GV600）
的粉塵和顆粒處理能力，氣路短，分級(jí)壓縮，能效高必要時(shí)可以與機(jī)械增壓泵系列中任何一種組合使用，將抽氣速率提升至2425立方英尺/分鐘（4200立方米/小時(shí)），并獲得更低的真空度。多級(jí)羅茨和/或爪式機(jī)構(gòu)使真空度達(dá)到0.023托（0.03毫巴）多級(jí)羅茨和/或爪式機(jī)構(gòu)組合，抽氣速率范圍：47-330立方英尺/分鐘（80-560立方米/小時(shí)）應(yīng)用范圍：拉晶、層壓和PECVD（作為iH系列的代替品，這應(yīng)當(dāng)是選擇）

蘇州易維科技專業(yè)維修各類進(jìn)口真空泵

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